सेमीकंडक्टर ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग के लिए प्लाज़्मा इंजेक्शन मोल्ड भूतल उपचार उपकरण

सेमीकंडक्टर ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग प्लाज्मा इंजेक्शन सतह के उपचार उपकरण को ढालता है

1. उत्पाद परिचय

आगमनात्मक युग्मन प्रकार कार्य सिद्धांत का उपयोग करते हुए यह छोटा वैक्यूम प्लाज्मा सफाई मशीन, और माइक्रोवेव ट्यूब और भागों के इन्सुलेशन में एक उत्कृष्ट भूमिका निभाता है।यह उच्च स्वच्छता के साथ संवेदनशील उत्पादों को संभालने के लिए उपयुक्त है। यह प्लास्टिक, जैव रासायनिक सामग्री, पीडीएमएस, कांच या धातु अर्धचालक, चीनी मिट्टी की चीज़ें, मिश्रित सामग्री, बहुलक और अन्य सामग्रियों से निपट सकता है, इसमें सुपर क्लीन सतह, नसबंदी, सुधार क्षमता में सुधार का प्रभाव है। परिवर्तन, सतह की संपत्ति में परिवर्तन और भौतिक सतह पर बाध्यकारी बल में सुधार।

2. विशेषताएँ

• मुख्य रूप से छोटे पैमाने पर उत्पादन और वैज्ञानिक प्रयोग पर लागू होता है।
• छोटी मात्रा, तंग संरचना और संचालित करने और बनाए रखने में आसान।
• जर्मन कोर प्लाज्मा तकनीक।
• आयातित 316 स्टेनलेस स्टील सामग्री;जंग रोधी।
• आयातित सुई वाल्व सटीक प्रवाह नियंत्रण मशीन।
• दो तरफा प्रक्रिया प्रतिक्रियाशील गैस चैनल।
• अनुकूलन उपलब्ध है।

3. तकनीकी पैरामीटर:

4. उपकरण संरचना:

प्लाज्मा क्लीनिंग मशीन रिएक्शन चैंबर (वैक्यूम चैंबर के रूप में भी जाना जाता है), वैक्यूम सिस्टम, डिस्चार्ज सिस्टम, इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम, इनटेक फ्लो कंट्रोल सिस्टम से बना है।

1. प्रतिक्रिया कक्षएक निर्वात कक्ष और एक इलेक्ट्रोड से बना है, जो एक प्लाज्मा प्रतिक्रिया स्थान है।संसाधित की जाने वाली वस्तुओं को प्रतिक्रिया कक्ष में रखा जाता है।
2. निर्वात प्रणालीएक वैक्यूम गेज, एक वैक्यूम पंप और एक वैक्यूम पाइप होता है, जो प्रतिक्रिया कक्ष में हवा को हटाने और ऑपरेशन के दौरान एक उपयुक्त वैक्यूम डिग्री बनाए रखने के लिए जिम्मेदार होता है।
3. डिस्चार्ज सिस्टमआवश्यक प्लाज्मा बनाने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष में प्रतिक्रिया गैस आयनीकरण को उत्तेजित करने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष के लिए संकेत और ऊर्जा प्रदान करता है।
4. का कार्यइलेक्ट्रॉनिक नियंत्रण प्रणालीइष्टतम प्रक्रिया मापदंडों और चरणों के अनुसार उपकरणों की कार्रवाई प्रक्रिया को नियंत्रित करना और प्रक्रिया मापदंडों की स्थिरता बनाए रखना है
5. सेवन प्रवाह नियंत्रण प्रणालीमुख्य रूप से फ्लो मीटर और सोलनॉइड वाल्व से बना है, इसकी भूमिका प्रतिक्रिया गैस सेवन प्रवाह को सटीक रूप से नियंत्रित करना और ऑपरेशन के दौरान आवश्यक वैक्यूम डिग्री बनाए रखना है।

5. उपकरण संचालन

1) निर्वात कक्ष का दरवाजा खोलें, वस्तुओं को निर्वात कक्ष में संसाधित करने के लिए रखें, और निर्वात कक्ष के दरवाजे को बंद करें;

2) मुख्य पावर स्विच चालू करें और टच स्क्रीन के माध्यम से पैरामीटर सेट करें;

3) उपकरण सेट पैरामीटर (वैक्यूम → वायु सेवन → निर्वहन → खाली) के अनुसार स्वचालित रूप से चलेंगे।उपचार के बाद, ऑपरेटर को याद दिलाने के लिए बजर बजेगा कि प्रयोग पूरा हो चुका है;

4) वैक्यूम चैंबर डोर कवर खोलें और प्रोसेस्ड आइटम को बाहर निकालें।

6. प्लाज्मा सफाई का सिद्धांत

• प्लाज्मा का परिचय:

प्लाज्मा पदार्थ की एक तरह की मौजूदा अवस्था है।यह आमतौर पर किसी पदार्थ की ठोस, तरल और गैसीय अवस्थाओं के साथ जुड़ा होता है और इसे "पदार्थ की चौथी अवस्था" कहा जाता है।यह सामग्री सतह सक्रियण, नक़्क़ाशी, परिशोधन और अन्य प्रक्रियाओं के साथ-साथ भौतिक घर्षण गुणांक, आसंजन और हाइड्रोफिलिक और अन्य सतह गुणों के प्रयोजन के लिए प्लाज्मा उच्च-ऊर्जा कणों और भौतिक सतह भौतिक और रासायनिक प्रतिक्रिया का उपयोग कर सकता है। सुधार।

• प्लाज्मा का सफाई प्रभाव:

उपचारित सामग्री की सतह को रासायनिक और भौतिक रूप से प्लाज्मा और सामग्री की सतह से संपर्क करके साफ किया जाता है और सतह की चिकनाई में सुधार करने, नए रासायनिक कार्यात्मक समूह को प्रत्यारोपित करने और नक़्क़ाशी का एहसास करने के लिए प्लाज्मा सफाई तकनीक (कम तापमान प्लाज्मा विशेषताओं) का उपयोग करके प्रतिक्रिया की जाती है।

(1) सामग्री की सतह के लिए सफाई और सक्रियण

(2) नया क्रियात्मक समूह बनाना - रासायनिक प्रभाव।

यदि प्रतिक्रियाशील गैस को विद्युत-निर्वहन गैस में पेश किया जाता है, तो सक्रिय सामग्री की सतह पर जटिल रासायनिक प्रतिक्रिया होगी।नए कार्यात्मक समूहों को पेश किया जाएगा, जैसे कि हाइड्रोकार्बिल, एमिडोजेन और कार्बोक्सिल, जो सभी सक्रिय समूह हैं और सामग्री की सतह की गतिविधि में काफी सुधार कर सकते हैं।

(3) प्लाज्मा नक़्क़ाशी।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी का मतलब ठोस सतह पर चुने गए एक प्रकार की उचित गैस और पदार्थ के प्लाज्मा बनाकर उत्पन्न वाष्पशील गैसीय पदार्थ को हटाने की प्रक्रिया है।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी तकनीक वास्तव में एक प्रकार की प्रतिक्रियाशील प्लाज्मा प्रक्रिया है।तथाकथित प्रत्यक्ष प्लाज्मा, जिसे प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी भी कहा जाता है, एक प्रकार का रूप है जिसके तहत प्लाज्मा को सीधे उकेरा जाता है।इसके मुख्य लाभों में उच्च नक़्क़ाशी दर और समता शामिल है।प्लाज्मा के तकनीकी पैरामीटर नक़्क़ाशी प्रभाव में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।

7. प्लाज्मा सफाई प्रक्रिया:

8. प्लाज्मा सफाई के फायदे:

• यह पारंपरिक गीली सफाई तकनीक की जगह लेता है, और हरा और पर्यावरण के अनुकूल है (जिसमें कोई वीओसी नहीं है)।
• गैस प्रतिक्रिया माध्यम के रूप में कार्य करती है इसलिए संचालन लागत कम है (ऑक्सीजन)।
• आवेदन की विस्तृत श्रृंखला;उपचार वस्तु और आधार सामग्री को अलग करने की आवश्यकता नहीं है (सामग्री आरेख)।
• उच्च सफाई दक्षता और स्वचालन का एहसास करना आसान है।
• गंदगी को हटाते समय सामग्री की सतह के प्रदर्शन और चिपकने वाली शक्ति में सुधार करें।

9. प्लाज्मा उपचार से पहले और बाद की तुलना:

ठोस सामग्री की सतह पर तरल का संपर्क कोण सामग्री की सतह पर तरल की वेटेबिलिटी को मापने के लिए एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है। यदि θ <90 °, ठोस सतह हाइड्रोफिलिक है, और कोण जितना छोटा होता है, उतनी ही बेहतर वेटेबिलिटी होती है;यदि θ>90°, ठोस सतह हाइड्रोफोबिक है।

प्रिंटिंग, कोटिंग, लैमिनेटिंग, वेल्डिंग और अन्य अनुप्रयोगों में डाइन वैल्यू का माप बहुत आम है।यह भौतिक सतह की आसानी से बंधने की क्षमता को प्रतिबिंबित कर सकता है।सामान्य तौर पर, डाइन मान जितना अधिक होता है, सतह का दूसरी सामग्री के साथ संबंध प्रदर्शन उतना ही बेहतर होता है।

10. सामान्य अनुप्रयोग:

बहुलक सामग्री का भूतल संशोधन सतह बंधन संपत्ति में सुधार करता है

इलेक्ट्रॉनिक घटकों के ऑक्साइड अवशेषों को हटाना, बंधन की गुणवत्ता में सुधार और बंधन प्रभाव को बढ़ाना।

ग्लास सबस्ट्रेट्स कार्बनिक प्रदूषकों को हटाते हैं

धातु की सतहों से तेल निकालना

ग्राफीन और अन्य पाउडर सफाई संशोधन

PDMSSurface सक्रिय बंधन

11. कौलिटी एश्योरेंस और आफ्टर सेल सर्विसेज:

1 साल की वारंटी, यदि उपकरण वारंटी अवधि के दौरान विफल रहता है, तो आपूर्तिकर्ता को कर्मियों को अनुवर्ती कार्रवाई करने और समस्या निवारण तक निपटने की व्यवस्था करनी चाहिए।

1) उपकरण के साथ सहायक उपकरण और सूचना।

जब उपकरण वितरित किया जाता है, तो आपूर्तिकर्ता संचालन और रखरखाव मैनुअल सहित संचालन, कमीशनिंग और रखरखाव से संबंधित तकनीकी दस्तावेजों का एक पूरा सेट प्रदान करेगा। रखरखाव मैनुअल में सर्किट आरेख, गैस सर्किट आरेख और पाइपलाइन आरेख शामिल होना चाहिए।

2) स्थापना

साइट उपकरण स्थापना के लिए तैयार करने के लिए आवश्यक सभी विवरण प्रदान करें।

3) प्रशिक्षण

स्थापना के दौरान, प्रशिक्षण दूर से प्रदान किया जा सकता है, जिसमें सामान्य संचालन, मरम्मत और रखरखाव, टैंक की समस्याओं का विश्लेषण और आपातकालीन प्रक्रियाएं शामिल हैं।

4) उपयोग करने के लिए उपकरण वितरण और बिक्री के बाद तकनीकी सेवा

आपूर्तिकर्ता उपकरण की स्थापना, संचालन और रखरखाव के दस्तावेज और संचालन प्रशिक्षण के लिए तकनीकी सहायता प्रदान करेगा। साथ ही वारंटी की एक प्रति जो वारंटी की प्रभावी तिथि और कवरेज और विक्रेता के संपर्क व्यक्ति को दर्शाती है।